作为全球领先的半导体代工企业，台积电正通过先进制程生产能耗的降低举措引领行业节能目标。当前，台积电已从EUV系统中挖掘出更多效率，最新发布的方案标志着公司正向更实时、智能的能源管理转型。今年9月，台积电在台湾主要生产基地正式启用‘动态节能管理计划’，重点针对EUV系统。公司预计年内将在全球所有EUV设备推广这一方案，并在新厂区全面使用。预计至2030年，该系统可累计节省电力达1.9亿千瓦时，减少碳排放量约10.1万吨。新方案核心或为智能调节装置，可根据晶圆实际曝光时段灵活分配能耗，设备闲置期间可实时降低电力消耗，提升能源使用效率。此前，台积电已通过内部重新设计与优化，将新一代系统能耗减少约四分之一，设备峰值功率降低高达44%，且未影响制程产出、良率或产品质量。