奕斯伟材料“硅片固定装置和硅片刻蚀设备”专利获授权

7 小时前

天眼查信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司及西安奕斯伟硅片技术有限公司于2024年12月6日申请了一项名为“硅片固定装置和硅片刻蚀设备”的专利，授权公告号CN119673859B，授权公告日为2025年10月17日。该专利提供了一种硅片固定装置和硅片刻蚀设备，包括下承载台、上抵压台及多个抵压盘，可匹配不同尺寸硅片和边缘刻蚀需求，防止碎片并提升刻蚀精度。