EUV工艺是5nm节点后不可或缺的先进技术，目前全球仅荷兰ASML公司能生产EUV光刻机。日本在EUV光刻胶领域占据优势，针对2nm及以下工艺节点，日本三大化工企业正积极扩大产能。
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