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上海交通大学在Advanced Functional Materials发表集成纳米间隙的纳米环光学天线晶圆级制造新进展
1 天前
上海交通大学集成电路学院微米纳米加工技术国家级重点实验室的臧法珩副教授团队，在纳米制造领域取得了显著进展。团队的研究成果以“Narrow-Gap-Integrated Ring Arrays (GRA) as Ultrahigh Field-Enhancement Optical Resonators”为题，发表在国际著名期刊《Advanced Functional Materials》上。该研究提出了一种三维纳米光学天线阵列，融合了纳米环和纳米间隙的三维结构特征，实现了电场场强幅值和分布区域的同步提升。该天线阵列可用于高灵敏度生物传感和荧光成像增强，其制造方法适用于低成本批量制造特征尺寸在10纳米以下的纳米结构间隙，有望为纳米级光学、电学新器件的高精度批量制造提供新方法。
