随着2nm芯片量产在即,英特尔、三星、台积电及IMEC等研究机构正聚焦于新一代工艺技术的开发。步入埃米时代,High-NA EUV光刻机有望成为先进工艺开发与生产的关键设备,推动了对High-NA EUV及相关工艺的深入研究。