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奕斯伟“边缘研腐设备的控制方法和边缘研磨设留”专利公布
5 天前
西安奕斯伟材料科技股份有限公司的“边缘研磨设备的控制方法和边缘研磨设备”专利于2025年2月28日公布，申请公布号为CN119526254A。该专利能在硅片边缘研磨过程中有效监控磨轮精度，及时发现异常偏差，减少因磨轮精度问题导致的边缘形貌异常，提高硅片边缘工艺参数的稳定性。
