清华大学李星辉团队综述原子级精密定位技术发展

3 周前

近日，清华大学深圳国际研究生院李星辉团队全面综述了光栅干涉仪在原子级精密定位技术领域的应用。随着全球先进制造向亚纳米精度演进，传统测量手段在多自由度测量、抗干扰性能及结构紧凑性上存在局限，难以满足原子级制造需求。光栅干涉仪凭借优异的多自由度测量能力、环境鲁棒性及小型化可集成优势，成为精密制造与纳米计量的核心技术。该综述通过九张表格系统梳理了不同测量维度的研究成果，涵盖位移、角度及多自由度测量，汇总了分辨率、测量范围和稳定性等关键指标，并针对原子级精度揭示了主要误差来源及补偿策略，为后续研究与工程应用提供了权威参考。