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中国科学院在高精度MEMS谐振式陀螺仪研究取得新进展
1 天前
MEMS盘式谐振陀螺仪（DRG）因紧凑结构、高热稳定性和轴对称嵌套环设计，在高精度寻北仪、惯性导航等领域展现出巨大应用潜力。传统DRG通过模态匹配降低耦合误差，创新设计解决频率分裂问题，但制造缺陷导致不对称性。尽管质量调整、离子束切割等后处理技术能削弱非对角耦合项，却未能根除不对称根源，限制了MEMS陀螺精度的进一步提升。
