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中科飞测“一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统”专利公布
1 天前
深圳中科飞测科技股份有限公司近日公布了专利“一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统”，申请公布号为CN119594908A，公布日期为2025年3月11日。该专利结合了CD-SAXS和XRR量测系统，旨在提高半导体样品的尺寸测量精度，标志着公司在半导体量测技术领域的进一步突破。
