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中国科学院上海微系统所卫星激光通信用高精度MEMS快反镜取得进展
4 天前
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术全国重点实验室成功研制出高性能MEMS快反镜，该镜具备大镜面、小封装体积及优异的线性度、角分辨率、响应速度、重复定位精度和动态形变特性。其集成的高灵敏度角度传感器，可实现激光光束的闭环精确控制，为激光卫星通信领域带来巨大应用潜力。
