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芯碁微装“自动曝光连线的集成粘尘装置”专利获授权
4 天前
合肥芯碁微电子装备股份有限公司近期获得了一项名为“自动曝光连线的集成粘尘装置”的专利，授权公告号为CN222447558U，该专利于2025年2月11日正式授权，申请日期为2024年5月7日。此装置能自动对基板进行除尘，提升制造过程中产品的洁净度和良品率，对智能制造领域具有重要意义。
