搜索
中科飞测“一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统”专利公布
1 天前
/ 阅读约2分钟
来源：集微网
据天眼查显示，深圳中科飞测科技股份有限公司“一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统”专利公布，申请公布日为2025年3月11日，申请公布号为CN119594908A。
据天眼查显示，深圳中科飞测科技股份有限公司“一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统”专利公布，申请公布日为2025年3月11日，申请公布号为CN119594908A。
本发明涉及半导体关键尺寸量测技术领域，具体提供一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统，包括：兼容的CDSAXS量测系统和XRR量测系统、共用样品台、样品台、XRR运算系统以及SAXS运算系统，其中，CDSAXS量测系统和XRR量测系统的量测点相同且位于共用样品台上，通过XRR量测系统实时采集半导体样品的反射率信号，XRR运算系统依据反射率信号获得半导体样品的电子密度及膜层周期等关键信息，并将这些信息作为先验知识共享给SAXS运算系统，CDSAXS运算系统依据CDSAXS量测系统获取的散射信号以及先验知识计算得到半导体样品的HAR结构尺寸。本发明在CDSAXS量测过程中，同时、同步获取了同一量测点的反射率信息，为CDSAXS量测提供先验知识，有效提高了CDSAXS量测系统模型计算的准确性。
