据天眼查显示,杭州美迪凯光电科技股份有限公司“一种超薄晶圆BGBM减薄背金加工方法”专利公布,申请公布日为2025年3月11日,申请公布号为CN119601502A。
本发明提供一种超薄晶圆BGBM减薄背金加工方法,其通过设置薄片BG膜+晶圆+切割膜+金属环的组合结构,在酸洗、镀膜环节灵活切换切割膜和金属环材质,降低了晶圆的翘曲状态,使得全晶圆可用于切割制备单独的芯片颗粒,无需特殊设备和生产线,极大了降低了生产成品,解决了国际卡脖子问题。