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中国科学院上海微系统所开发出高性能 10mm 大口径压电 MEMS 快反镜
2 天前
中国科学院上海微系统与信息技术研究所团队成功研发出一种高性能10毫米大口径压电MEMS快反镜。该快反镜采用双层异构集成技术，具备高线性度、超高角度分辨率和快速响应特性，动态表面形变仅2纳米，优于传统及商用同类产品，可实现高精度激光光束闭环控制，满足卫星激光通信需求。这一成果为航空航天领域提供了小型化高性能的解决方案，相关研究已在《微系统与纳米工程》上发表。
