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和远气体：三氟化氮已量产，六氟化钨上半年有望实现规模化生产

5 天前

和远气体宣布，三氟化氮已在试生产中实现量产，六氟化钨正处试生产阶段，预计上半年量产。公司后续将开展半导体验厂和认证工作，逐步推进规模化生产。

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