中微公司发布一季度财报,显示营业收入达21.73亿元,同比增长35.40%;归母净利润为3.13亿元,同比增长25.67%。公司在先进制程工艺上持续创新,高端刻蚀工艺产品付运量显著提升,六种薄膜设备已成功进入市场。此外,研发投入约6.87亿元,同比增长90.53%。