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英特尔首批两台High NA EUV光刻机投产，单季生产3万片晶圆
2025-02-25
英特尔宣布已开始使用ASML公司的首批两台High NA EUV光刻机进行生产，这些新型光刻机的可靠性优于旧款。在一个季度内，英特尔已利用这些光刻机生产了30,000片晶圆，效率大幅提升。据英特尔高级首席工程师透露，新光刻机的可靠性约为旧款的两倍，且能减少曝光次数，从而节省时间和成本。英特尔计划利用这些光刻机开发Intel 18A技术，并在下一代Intel 14A技术中全面应用。
