8月6日，华海清科宣布其6英寸集成量测装备正式出机，并已发往国内光学硅材料领军企业。该装备是国内首款6英寸集成式量测与CMP装备一体化产品，性能达国际先进水平，将补齐国内半导体特色工艺制造短板。
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